板材非接触激光在线测厚方法_技术研讨_仪器仪表技术文献

提供者:15453850772  发布时间:2017/08/25  阅读次数:90次  

一、 概述

自从上世纪60年代激光产生以后,其高方向性和高亮度的优越性就一直吸引着人们不断探索它在各方面的应用,其中,工业生产中的非接触、在线测量是非常重要的应用领域,它可以完成许多用接触式测量手段无法完成的检测任务。普通的光学测量在大地测绘、建筑工程方面有悠久的应用历史,其中距离测量的方法就是利用基本的三角几何学。在上世纪80年代末90年代初,人们开始激光与三角测量的原理相结合,形成了激光三角测距器。它的优点是精度高,不受被测物的材料、质地、型状、反射率的限制。从白色到黑色,从金属到陶瓷、塑料都可以测量。

二、 激光三角测量的原理

激光三角测量法是人们将激光与三角测量的原理相结合的产物,其原理如下图示:


公式中,t表示厚度,z是上下两个测头间的距离,x是上测头到被测物上表面的距离,y是下测头到被测物下表面的距离,只要z是恒定的,则,上下测头测量出xy就可以通过上面的公式算出厚度t,这样,用两个激光位移传感器就可以做出测厚仪。

一、 第一代激光三角测厚仪的误差分析

1、 上面的厚度公式中我们假设z是恒定的,则,在静止状态下系统误差就是上下测头的测量误差,我们令其表达式为:

2、 实际上,在高精度测量时,z并不是恒定的,因为,上下测头是装在U形支架上,而随着温度的变化,U形支架是会变形的,扫描宽度越宽其变形量就越大,所以,其在静止状态下的误差表达式应为:,见下图示,

当温度变化时。

1)假若U形支架的上臂向上变形一微米,下臂向下变形一微米,则,

2)假若U形支架的上臂向下变形一微米,下臂向上变形一微米,则,

3)假若U形支架的上臂向上变形一微米,下臂向上变形一微米,则,

4)假若U形支架的上臂向下变形一微米,下臂向上变形一微米,则,

5) 假若U形支架的上下臂向其它方向变形,则,误差比较复杂。

个数据,若物体移动速度为V,单次采样时间为T,则造成的上下两测头的厚度测量的概率误差为,例如,若v=10mm/s, T=10ms, n=2, e=0.115mm!若上下测头组合仪取p个数平均,则厚度误差均方差下降为,若p=20,则e=0.026mm!对于高精度测量仍然是无法容忍的!

由于激光散斑是无法消除的,因此,被测物速度越大,误差越大,因此原理上,上下独立测头不适宜抖动物体的测厚!

一、 结论

从上面的分析,我们可以知道:用激光位移传感器构成的测厚仪存在着原理上的缺陷,其误差的产生都是随机的,所以,无法进行补偿,故,在高精度测量时不能满足测量要求。

二、 第二代激光测厚系统原理简介

第二代激光三角测厚仪是重新设计发展而来,它克服了第一代由于U形支架变形、振动等导致测量精度不高,由于采用二个光电转换部件导致工作不同步而导致上下两测头的测量点不重合,及由此导致测量精度不高,测量精度不稳定等不足。第二代激光测厚仪从测量原理上做了重新设计,不再采用两个位移传感器分别测量上下测头到被测物的上下表面的距离来算出厚度,而是直接测量被测物的厚度,避免了U形支架变形、振动等导致测量误差,大大提高了测量精度,而且不怕振动,并且安装使用更简单,工作更稳定,测量精度更高(+/-0.0015mm),它无环境污染,对人无伤害,对被测物无污染无接触,同时第二代激光三角测厚仪有完整的数据输出接口,这为涂布机的日后闭环自动控制打下了基础,

详见原理图




第二代激光测厚仪原理

上述原理图的工作原理:上下二个激光器将激光束分别打在被测物的上下表面,形成二个光斑,无衍射光学系统将这二光斑成像到面阵CCDDSP等光电转换部件上,则,这二个光斑在面阵CCDDSP等光电转换部件上的光斑的像之间的距离就是被测物厚度的映射,通过图像处理技术就能算出被测物的厚度。
从上面的原理图可知,U形支架上安装的不是激光位移测头,而是激光器,仅作为光源用,上下激光器照射到被测物的上下表面形成上下二个光斑,将这两个光斑通过一个无衍射光学系统成像到面阵CCD上,则,这二个光斑之间的距离就是被测物的厚度,这样直接测量的是被测物的厚度,这就避免了由于U形支架的变形和上下测头的测量误差还有抖动等因素的影响,第二代系统只有一个误差,就是无衍射光学系统的测量误差,而这个误差不是随机产生的,是可以补偿的,同时我们的单镜头面阵ccd测厚仪,由于是上下光斑同时测量,若出现上下任一光斑太暗,则该组上下光斑数据作废,保证了用于厚度数据的上下光斑的一一对应性!从原理上避免了第一代测厚仪的多项误差。故,第二代激光测厚系统比第一代激光测厚系统有无比优异性能。

深圳市凤鸣亮科技有限公司

2011/08/06

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